光学干渉式膜厚モニタ　　AvaThinfilm

光の干渉を利用した薄膜の膜厚測定方式で分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ等の構成で薄膜で起こる干渉パターンと試料の物性値から膜の厚みを計測。
●非接触でリアルタイムに計測
●10nm～50μm の膜厚みを計測
●測定分解能：1nm
●レジスト、酸化膜、機能性フィルム等
●専用のソフトに一般的なマテリアルやコーティング材料の物性値がデータベース化されており、選択して使用可能。